真空機組中前級泵和預抽泵的選擇是非常重要的，錯誤的選擇會影響整個工作的流程，甚至會造成很大的經(jīng)濟損失。
配前級泵
前級泵直接影響主泵性能，影響真空系統(tǒng)的抽氣時間和經(jīng)濟效益。在真空系統(tǒng)中氣體處于穩(wěn)定流動狀態(tài)時，則整個管路上任意截面的氣流最是相等的。故管路上串聯(lián)的各泵在單位時間內(nèi)所抽走的氣體也是相等的。但是，管路系統(tǒng)各截面的氣壓并不相等，各截面的抽速也就不相同。因此，配前級泵的要求是
①保證始終及時地排出主泵所排出的氣體流量;
②在主泵出口處造成的壓強低于主泵的最大排氣壓強;
③如果前級兼作預抽真空泵，則還要滿足預抽時間和預抽真空度的要求。
配預抽泵
有些主泵，如鈦泵和低溫泵之類，只需要預抽泵先抽到預備真空，然后就自己獨立工作，而不需要前級泵。這種系統(tǒng)的預抽泵抽速，是將真空室在（一般為10~15min)時間內(nèi)抽到所要求的預真空度的抽速。
另一些主泵，如擴散泵和增壓泵，它們既需要前級泵，也需要預抽泵。這時，可將兩個抽速進行比較，倘若預抽泵抽速不大于前級泵抽速，則前級泵可兼做預抽泵.不然，則需補設一臺預抽真空泵。這臺補設的預抽泵的抽速，為前述兩抽速之差。
